二手 TECHNICS PLASMA GMBH 300 AL-PC #293777682 待售

ID: 293777682
Plasma cleaner PVA TEPLA / TECHNICS 300 Autoload PC EBARA ESR 20N.
TECHNICS PLASMA GMBH 300 AL-PC是为半导体和微电子制造工艺而设计的先进蚀刻器/asher设备。此创新工具提供精确处理功能,以满足现代设备制造的苛刻要求。该系统采用等离子体技术,以高精度和高效率的方式蚀刻和清洁表面。300 AL-PC具有多功能平台,可以容纳各种基材尺寸和材料,使其成为广泛应用的灵活解决方桉。该单元配备了坚固的真空室,为等离子体处理提供受控环境。这样可以确保蚀刻和清洗过程具有很高的可重复性和一致性。TECHNICS PLASMA GMBH 300 AL-PC的关键成份之一是等离子体源,产生与基板表面相互作用的反应性等离子体,有选择地去除材料。该机器能够蚀刻多种材料,包括金属、电介质和半导体,选择性和均匀性都很高。这样就可以对基板上的特征进行精确的图样绘制,而对底层的损害最小。300 AL-PC中的蚀刻过程由精密软件控制,允许精确调整气体流速、射频功率、压力和温度等工艺参数。此级别的控制使用户能够针对其特定的应用程序要求实现所需的蚀刻轮廓和各向异性。该工具还具有高级端点检测功能,以确保最佳流程端点控制和可重复性。除蚀刻外,TECHNICS PLASMA GMBH 300 AL-PC还可用于等离子体清洗和表面处理应用。该资产配备了一系列气体注入系统,允许引入各种工艺气体,为特定的清洗和改造过程量身定制等离子体化学。这种多功能性使模型成为在后续处理步骤之前进行表面准备和修改的宝贵工具。300 AL-PC采用用户友好的界面和直观的软件控制,便于操作和过程开发。设备配备先进的安全功能,保证操作过程中的操作员保护。此外,还可以利用可访问的组件和诊断工具轻松维护系统,以进行高效的故障排除和维修。总体而言,TECHNICS PLASMA GMBH 300 AL-PC是一个最先进的蚀刻/asher单元,提供半导体和微电子应用的精密处理能力。凭借其通用的平台、先进的等离子体技术和用户友好的设计,该机器非常适合研发以及大批量制造环境。
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