二手 TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC #293754150 待售

TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC是一款高性能的蚀刻/asher设备，设计用于半导体、微电子、材料科学等多种材料的精确高效的等离子体处理。这种先进的等离子体系统配备了最先进的技术，为广泛的应用提供卓越的过程控制、可重复性和可靠性。主要功能和规格：1.等离子体来源：300 PC配备了坚固的等离子体源，能够产生用于蚀刻和灰化过程的高反应性等离子体种类。对等离子体源进行调谐，以各种频率和功率水平运行，以适应不同的材料类型和工艺要求。2.工艺室：该装置具有高真空工艺室，设计用于均匀的等离子体分布和高效的气相反应。腔室由耐腐蚀材料制成，可承受恶劣的等离子体环境，便于清洁维护。3.气体输送机：蚀刻器/灰化器工具配备精确的气体输送资产，以受控的流量和压力将反应性气体送入工艺室。这确保了对等离子体化学和蚀刻/灰化率的精确控制，以获得最佳的工艺性能。4.基板处理：TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC支持各种基板尺寸和类型，包括晶圆、玻璃基板和薄膜。该模型配备了机器人基板搬运设备，用于自动装卸基板，最大限度地减少人工干预，提高工艺吞吐量。5.射频电源：等离子体系统由高频射频电源供电，能够向等离子体源输送精确的功率水平，用于控制等离子体密度、均匀性和处理过程中的稳定性。RF电源与先进的阻抗匹配网络集成在一起，以实现高效的功率传输和等离子体发电。6.工艺控制软件：蚀刻器/asher单元由复杂的工艺控制软件控制,该软件提供了一个用户友好的界面,用于定义工艺配方、实时监控工艺参数以及优化工艺条件以实现所需的蚀刻和灰化结果。软件还具有用于流程优化和故障排除的数据记录和分析工具。7.安全特点：300 PC配备基本安全功能,确保操作员在操作过程中的保护和机器完整性。这些措施包括互锁、紧急停止按钮、气体泄漏探测器和超压安全阀，以防止发生事故并确保危险材料的安全处理。总体而言，TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC是一款尖端蚀刻/asher工具，将先进的等离子体技术与稳健的设计和用户友好的控制相结合，以满足现代半导体和材料加工应用的苛刻要求。凭借其高性能、卓越的工艺控制和安全特性，这种等离子体资产是需要精确可靠的等离子体处理解决方桉的研究和生产环境的理想选择。