二手 TEGAL 1511E #9080737 待售

TEGAL 1511E Asher/Etcher是一种多功能、半真空、精密的薄膜加工设备，设计用于在基板上生产细线集成电路。该系统利用高真空、等离子体和反应性气体蚀刻技术相结合，生产出尺寸控制精确、精度高的装置。1511E是完全自动化的,能够采用基于膜的、基于石英的和自旋涂层的掩蔽技术,并允许直接、非掩蔽的硅蚀刻。TEGAL 1511E的主室是一个8 "x8"不锈钢室，允许蚀刻小至2 "x2"的基板。该单元的工艺参数是完全可编程的，可以调整到低至1微米的水平，这取决于基板和工艺。它的半真空机降低背景压力，允许直接蚀刻敏感设备，包括MEMS组件。1511E具有高效的涡轮分子真空泵，能够达到6x10-6 Torr的真空水平。这种低压有助于最大限度地减少蚀刻时间，并使更高的纵横比结构能够被高轮廓精度的蚀刻。它还利用射频电源和涡轮泵浦偏置压板创造了电子增强等离子体环境，确保了出色的蚀刻选择性和粒子还原。TEGAL 1511E ICP源气体输入RPX-200进一步特征,允许添加额外的工艺气体以实现最佳蚀刻性能。该工具可以在仅传输模式下运行，也可以在可选的进程室中运行，允许与PLC和过程控制软件接口使用完全可编程的进程参数。1511E是生产高纵横比、窄公差结构的理想选择,具有流线型操作平台、直观的用户界面和卓越的性能。它的维护程序需要最少的训练，其腔室经过优化，便于更换磨损部件。它符合适用的安全和环境法规,可以配置为满足广泛的客户需求。