二手 TEGAL 211 #114351 待售

TEGAL 211是一款高性能的等离子体蚀刻器和asher。它是一种全自动的单晶片设备,专为精确控制和统一蚀刻工艺而设计,以确保在长生产周期内达到最高精度。该系统的主要组成部分是其高功率的单级涡轮泵，它作为压力控制单元，确保在晶圆上进行精确一致的蚀刻。与泵相分离的浮动圆顶蚀刻室提高了均匀性，产生低轮廓高度和侧壁角的高蚀刻速率。晶圆加工温度也得到精确控制，腔室能够达到700 °C的温度。211还具有TEGAL 211多功能RF Power Machine,可实现稳定、高性能的处理,并具有可重复的结果。这款电动工具支持高密度、低加速度等离子体，用于改进高长宽比蚀刻。可以调整资产的最优均匀性、蚀刻速率和蚀刻选择性。211的精度进一步通过其全面的一套测量工具和控制系统，包括自动对准、自动对焦和等离子体气体控制，以实现准确的过程重复性，以及其先进的地下损伤检测系统、边缘效应和终身管理。该模型还提供了具有过程控制和管理功能的直观、基于平台的图形用户界面。这允许用户存储工艺配方，监控蚀刻参数，利用批处理效率。TEGAL 211非常适合多种应用，包括半微米或更小的光掩模制造、介电和金属蚀刻、系列线性金属台面蚀刻、纳米线蚀刻、半导体器件制造、金属植入、数据存储和干晶片清洗。