二手 TEGAL 411 #9163033 待售

TEGAL 411是为生产晶圆加工而设计的蚀刻/灰分系统。它主要用于晶圆制造，用于集成电路的生产。蚀刻器具有单室设计，允许在一个周期内完成多个级别和类型的蚀刻和灰化操作。411有上下室，有上下源和基质。这些腔室由不锈钢构成，其特点是设计用于处理高腐蚀性过程，如反应性离子蚀刻。每个腔室有两个加热区，可以进行精确的温度控制。TEGAL 411还具有低损耗转移机制，确保基板在加工过程中的高精度对准。411可以配置为在一系列半导体材料上进行蚀刻和灰化操作，包括硅、复合半导体材料和多晶硅。它能够使用硬面膜进行操作，包括光刻胶和氧化物蚀刻/灰分。TEGAL 411还支持高吞吐量生产,周期时间为30秒或更短。411的性能通过强大先进的等离子体源和电子束和离子束系统的结合得到进一步提升。这样就减少了污染的机会，并可能应用通量和产量提高的技术。TEGAL 411包括运动探测器和温度截止开关等安全功能。这些功能使蚀刻器可靠,并减少过热或其他可能损坏材料或导致过程失败的问题的机会。411还具有低功耗功能,非常适合全天候生产环境。综上所述，TEGAL 411是为生产晶圆加工而设计的蚀刻/灰分系统。它能够在一系列半导体材料上进行各种蚀刻和灰化操作，具有高精度对准和低损耗传递机制。它还具有运动检测和温度关闭等安全特性，以提高可靠性。411是适用于当今高吞吐量应用的强大可靠的系统。