二手 TEGAL 415 #5672 待售

TEGAL 415是一款先进的蚀刻器/asher设备,以其高速、可重复和超精细的处理而闻名。它是微米到纳米范围内精密加工的理想设备，包括MEMS、薄膜和高纵横比结构。415有一个模块化平台，设计用于湿蚀刻和干蚀刻。湿蚀刻是一种等离子体增强过程，其中化学品或气体用高频电场电离，实现快速、精确和选择性蚀刻。干蚀刻利用先进、高度可靠的技术，如反应性离子蚀刻（RIE）和等离子体蚀刻，进行深度控制和高长宽比处理。TEGAL 415能够在4英寸晶圆上产生± 3%均匀度的精确特征。通过最小蚀刻时间和过程的高优化来实现高吞吐量。在蚀刻过程中可以得到和维持低至0.01 Torr的压力输出，导致高重复性。415是一款功能强大、精密的蚀刻器,与广泛的、材料和应用程序兼容。它利用一个可伸缩的腔室，以尽量减少颗粒污染的风险和一个前端加载系统，以消除晶圆传输。为确保晶片在蚀刻过程中受到保护,该单元嵌入了电气和机械信号,这些信号报告腔室条件,包括温度（最高100˚C和速度）。此外，该机还配备了一个顶级安全工具，包括自动气体关闭和可变压力夹紧床，以防止压力累积和不安全的情况。此设置还允许快速、方便的维护和维护。模块化和易于使用的界面允许在批量和单个晶圆模式下运行各种蚀刻配方,从而使此资产适用于开发和生产环境。TEGAL 415具有最小的占地面积和卓越的成本效益,可以证明它是处理MEMS、薄膜和高宽高比结构的实验室或设施的绝佳补充。