二手 TEGAL 415 #9010610 待售

TEGAL 415是一种顶级性能的蚀刻器/asher,用于执行生产半导体电路和器件所需的一系列蚀刻/灰化过程。此蚀刻器/asher具有几个独特的属性,使其成为各种半导体蚀刻/灰化过程的理想选择,尤其是那些涉及湿蚀刻和灰化的过程。415 蚀刻器/Asher的突出特点是能够用多种基材实现高质量的蚀刻/Ashing结果，包括金属、多晶硅、石英和GaN。通过添加几个用于控制流程的专用软件包，可以实现这一点。这些软件包允许用户调整蚀刻/灰化参数,例如蚀刻/灰化压力和定时,以获得最佳效果。此外,TEGAL 415还配备了先进的温度控制系统,确保完成所有灰化和蚀刻过程,并获得精确一致的结果。415还具有最先进的环境室,有助于保持温度一致并保持蚀刻/灰化过程的最佳条件。该腔室配有多种专门的传感器，用于监测腔室内的环境状况，并不断调整蚀刻/灰化参数，以确保获得最佳效果。此外，环境室的设计具有耐腐蚀性，能够在超过正常范围的各种不同温度下工作。TEGAL 415还包括一个供气系统，确保每个工艺的蚀刻/灰化压力和气流保持在最佳范围内。这种供气系统确保蚀刻/灰化过程能够以最高的效率和一致性进行。415是一种高度先进的蚀刻器/asher,旨在以精确和精确的方式完成要求最苛刻的蚀刻/ashing过程。其广泛的功能使其成为从半导体器件生产到先进研发等广泛应用的理想选择。