二手 TEGAL 415 #9143547 待售

TEGAL 415是蚀刻器/asher。它专为半导体行业的应用而设计，并通过其高精度的光束输送系统提供增强的性能。415是一种全自动设备，能够处理各种尺寸的晶片，直径可达8英寸，有角度的晶片。它旨在最大限度地提高吞吐量和准确性,同时确保安全的环境。该系统具有先进的光束传送光学系统.这包括一个各向同性光束均匀化单元，它可以在整个晶圆表面传递高精度光束轮廓，确保均匀蚀刻。光束光斑尺寸和散度保持在1% ±的精度，保证了最佳蚀刻性能。该机还具有全自动端点检测工具，可有效控制蚀刻过程。端点检测传感器测量蚀刻晶片表面的光强度剖面，为实现蚀刻提供准确的测量。资产可以手动或自动化模式操作，使操作员能够快速、轻松地调整蚀刻参数。该模型的用户友好的图形用户界面使操作设备变得直观，即使对于没有经验的用户也是如此。该系统具有强大的冷却装置,能够保持温度稳定并消除热损坏。TEGAL 415还包含了先进的安全措施，包括一个盖联锁安全开关，打开后立即关闭机器。综上所述，415是专门为半导体行业设计的高度精确的蚀刻器/asher。它能够提供精确的光束传递，使其在整个晶圆表面实现均匀蚀刻。端点检测工具可以准确控制蚀刻过程,而用户友好的图形用户界面则可以轻松操作。TEGAL 415强大的冷却资产结合先进的安全措施，保证了用户的安全环境和半导体行业预期的高度精确的蚀刻性能。