二手 TEGAL 415 #9187146 待售

TEGAL 415是由TEGAL Corporation开发的自动化asher。它是一个全尺寸的独立设备，提供晶圆模具清洗、蚀刻和薄膜沉积工艺。415是一个可靠、高效、具有成本效益的系统，已被证明适合广泛的应用，包括半导体制造、MEMS和光电器件。TEGAL 415由自动化的机器人机床组成,能够处理直径不超过200 mm的基板。该单元设有装载站，首先将基板装入机器，然后自动放置在蚀刻和薄膜沉积平台上。该工具还配备了集成控制器，允许对整个过程进行精确控制，并确保每个基板的处理一致。415有两个独立的蚀刻室。第一室针对模具清洗和图像蚀刻进行了优化，第二室针对腐蚀、氧化物去除和透晶片蚀刻进行了优化。蚀刻室是温度和压力控制的，能够实现过程临界的均匀性、重复性和准确性。TEGAL 415还包括一个薄膜沉积平台。该平台能够产生高度可靠的低表面粗糙度层。它配有旋转和线性运动级，以及两个单独的电子束源，用于涂覆基板。该资产还能够同时加工多种基材，使其成为生产规模研究的绝佳选择。总体而言,415是可靠且经济实惠的asher/etcher。它能够处理广泛的应用，包括半导体制造、MEMS和光电器件。其先进的控制器确保了每个基板加工的精度和可重复性。其两个独立的蚀刻室和薄膜沉积平台能够产生可靠和一致的结果。它是任何半导体生产过程的理想解决方桉。