二手 TEGAL 515 #293655082 待售
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TEGAL 515是一种蚀刻器/asher，用于电子制造业的一系列工艺。它为Si、SiO2、SiN、WSi2、金属合金和其他导电和非导电材料等多种材料提供沉积和蚀刻能力。515专为处理大批量生产过程而设计。它配备了一系列有助于高效处理的功能。这些特点包括高速沉积和蚀刻速率，使吞吐量优化；精确控制过程参数,例如压力、温度和气流；以及对所有参数进行实时监控的先进控制设备。蚀刻器/asher还提供了工艺灵活性，能够使用各种蚀刻气体，以及两种或两种以上的溷合物用于更复杂的工艺。它还具有一个精密的自动晶片处理系统，一个正在申请专利的矢量单元，能够精确控制晶片相对于蚀刻工具的位置，以及一个高精度的波纹泵，以维持沉积过程中的最佳压力。TEGAL 515还附带了一系列其他功能,这些功能可提供用户友好的体验。其中包括直观的操作员GUI屏幕、易于使用的流程配方、用于故障排除的内置诊断程序,以及用于最佳流程设置的多个配方。此外,还可以针对不同的配方和工艺参数对计算机进行配置,以便用户根据自己的特定需要对其进行自定义。综上所述，515是一种高性能的蚀刻器/asher，设计用于各种材料的可靠和精确的沉积和蚀刻。它提供快速沉积和蚀刻速率；对工艺参数的精确控制；强大的控制工具；灵活使用蚀刻气体；精确的晶片处理；以及用户友好的功能,可实现无故障操作。
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