二手 TEGAL 515 #9192920 待售

TEGAL 515是Lam Research Corporation设计制造的蚀刻/asher设备。这种晶圆蚀刻器/灰化器系统主要用于半导体材料的去除.515利用强大的工艺室,采用多层源设计和大型多介电路径气体输送装置。TEGAL 515配备主室、高密度等离子体机（HDP）和独立涡轮泵。主室是一个温度控制、隔离的过程室，效率高，功耗低。这个腔室为有效去除提供了一个受控的环境，而不存在热梯度或晶圆和工艺气体之间的机械相互作用。主室还消除了直接或间接热辐射可能造成的污染。HDP工具提供高密度等离子体以产生等离子体辅助化学蚀刻，并且能够在多层光掩模上操作。为进一步提高蚀刻精度，包括低冲击离子源。离子源也被用于产生等离子体辅助沉积。独立涡轮泵通过主动控制工艺室内的压力，确保了工艺室内一致稳定的真空环境。涡轮泵可实现低至10-7 mbar的运行压力。515配备了多种供气选项，可在气泡或无气泡输送配置中激活。供气选项包括氮气、氧气、氙气、二氧化碳和六氟化硫。综合气体供应允许使用多种加工气体，可以进一步优化，以满足每种应用的具体工艺需求。TEGAL 515还具有增强的安全性和可靠性功能,包括电磁干扰保护资产及其模块化可配置设计,使安装和维护成为一种微风。最后,它的可编程界面允许自动进行预处理、现场报告和结束运行数据收集。Lam Research Corporation的515 蚀刻器/asher凭借其增强的安全特性、高密度等离子体模型、独立涡轮泵和可编程接口，是半导体材料去除的理想选择。