二手 TEGAL 6000 #293616018 待售

TEGAL 6000是专门为使用可靠的光刻工艺生产集成电路（IC）蒙版而设计的蚀刻器/asher。它旨在提供一个完全自动化、用户友好且经济高效的解决方桉,该解决方桉可以定制以满足任何客户的需求。该设备具有较大的观赏区域和异常刚性的结构,可确保高可重复性、精确的对准和长期稳定。它还采用了最新的激光对准和面罩生成系统，用于干式和湿式系统。6000可以处理小型和大型基板,最大尺寸可达30英寸。能产生细至10微米的分辨率，最大深度5微米。该设备采用高速精密x-y表,允许步骤和重复操作。此功能使设备非常适合需要大量工作的环境。此外,TEGAL 6000还具有出色的灵敏度和广泛的可调整性,可用于将干层和湿层蚀刻到晶片上。在安全特性方面，6000具有监控大气，使操作员能够监控蚀刻过程中产生的任何危险副产品。封闭式室内环境（CCE）还确保工作区域始终清洁和封闭，减少污染风险。在操作上，TEGAL 6000简单明了。用户界面提供简单的图形菜单系统以及内置的诊断和故障排除菜单。宽大、明亮、背光的液晶屏幕为用户提供了所需的所有信息。各种控制-顶部、拨号和开关也便于操作。6000是一种极为有用和可靠的蚀刻器/灰化器,同时也是一种极具成本效益的解决方桉,既满足高批量生产需求又满足低批量生产需求。其处理大小基板的能力，分辨率高达10微米，最大深度为5微米，提供了出色的蚀刻效果。TEGAL 6000具有板载诊断、自动掩模生成系统和高性能,非常适合IC生产需要。