二手 TEGAL 6500 #9238618 待售
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ID: 9238618
System, 6"
Etch chamber
Passivation chamber, 6” for metal etch AlSi / AlSiCu
PM1-Non-functional
PM2
PM3-Stripper
PM4-Rinser
PM5-Aligner
CM1-Cassette module 1
CM2-Cassette module 2
TM1-Primary robot
TM2-Secondary robot-atmosphere
Chiller
RF Generator
Monitor.
TEGAL 6500是一种微加工工具，用于各种材料的蚀刻和灰化。该设备用途极为广泛，应用范围广泛，包括掺杂、沉积、材料去除和蚀刻。它的标准加热系统允许它处理广泛的材料，包括金属、硅、氧化物、聚合物和陶瓷。6500的特点是13区反应堆，由液压八角形晶室（直径28.5厘米）和六个磁悬浮、平面外、均匀分布的提取通道组成。这种电磁设计使设备在选择和定义蚀刻和灰化参数时具有很大的灵活性。13区反应堆使TEGAL 6500能够达到总共18个可用加工区，而它在整个加工区内气体流动的均匀分布，使得所有表面都有偶数蚀刻和灰化。6500的标准升力高度为20mm，超过了目前的行业标准。机器还具有广泛的辅助选项。这些可以配置用于特定的应用，如反应性离子蚀刻，它们可以用来改进特定的蚀刻机制或优化工艺吞吐量。其中包括离子源、远程等离子体源、等离子体热点识别和补偿工具以及高级沉积函数。离子源可用于实现像硅、氙合金这样的材料的高保真度和垂直蚀刻。远程等离子体源可用于实现高纵横比结构的均匀蚀刻。等离子体热点识别和补偿资产是指用于检测和抑制可能破坏表面特征的热点的模型。高级沉积函数可用于创建导电层或绝缘金属层。TEGAL 6500采用高级管理设备,通过其专用控制面板为其所有功能提供远程访问和实时监控。这样可以增强系统的安全性和过程控制,以及方便的维护。所有相关的单元参数都可以从其集成库中填充，并且具有保存和召回配方的附加功能，以便于重用。6500是一种极为方便和多用途的工具，为研发、原型制作和生产提供了广泛的选择。其先进的工艺管理，加上广泛的选择，使其非常适合实验室和制造环境中的各种工艺。它种类繁多，价格合理，是各种工艺和应用的绝佳选择。
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