二手 TEGAL 6540 #9267990 待售

TEGAL 6540是一种最先进的蚀刻器/asher,它在蚀刻和研磨过程中结合了速度和精度。采用多站设计，可定制6540，以满足多种材料的蚀刻和灰化要求，包括碳化硅、氮化硅、硝基铵（NMO）和钨。作为顶级型号,TEGAL 6540提供了比其他型号更高的蚀刻速率,从而实现了更快、更高效的蚀刻和灰化过程。6540还具有独特的四区腔室布局，为蚀刻和粉刷提供了快速访问。四区腔包括两个等离子体区和两个反应性气体区。此外，TEGAL 6540可以调整为同时处理蚀刻和灰化。6540是一种全自动机器,具有独特的多轴配置,可为各种曲面提供高的蚀刻和灰化率。TEGAL 6540的腔室分为四个区域，每个区域能够产生不同的蚀刻和灰化效果。使用自动光学对准设备，6540可以针对蚀刻或灰化过程中的任何缺陷自动进行调整，提供高精度的结果。此外，TEGAL 6540还配备了一个自动清洗系统，利用各种清洁剂清除腔室和光学器件中的碎片和其他污染物。清洁装置还设有旋转臂机，有助于减少清洁腔室所需的时间。总体而言,6540是一款尖端的蚀刻器/asher,它提供了一种可靠、高效和精确的工具,用于蚀刻和研磨各种材料。凭借其最先进的设计，TEGAL 6540是广泛蚀刻和灰化应用的理想选择。