二手 TEGAL 701-03 #9097594 待售

ID: 9097594
晶圆大小: 3"
Plasma etcher, 3".
TEGAL 701-03是一种先进的水基蚀刻器/asher,设计用于蚀刻/ashessilicon晶片和薄膜。它是一种可靠、经济高效的解决方桉,可用于微电子行业的多种应用。701-03采用独特的冷室设计,能够处理高达0.25um/秒的湿蚀刻速度和高达10um/秒的灰化速度。可调速度控制器确保用户可以手动调整蚀刻/灰化速度,以获得优化的结果。它还具有智能过程控制等先进技术。此技术可精确监控蚀刻/灰化工艺参数,如温度、压力和流速,以确保产品质量一致。它还配备了自动化的安全功能,以防止事故和损坏用户和晶圆。TEGAL 701-03紧凑高效。它的设计采用有效的蒸汽控制系统,防止酸性烟雾和腐蚀性气体从室内逸出。它还配置为便于与其他系统(如秤、接收器和排气系统)集成。701-03型环保,由耐腐蚀材料制成。Asher也可以与包括氢氟酸和硝酸在内的各种化学物质结合使用。蚀刻器/asher也与所有类型的坦克和喷枪兼容,可以很容易地配置为定制。归根结底,TEGAL 701-03是一个蚀刻器/asher的最佳选择,当精度和准确性是强制性的。由于其紧凑的设计、可靠的技术和先进的功能,它有助于降低成本、提高运营效率,并提供卓越的性能。
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