二手 TEGAL 701 #293621568 待售

TEGAL 701是由TEGAL Reliability Engineering製造的蚀刻器和asher。它是为半导体和其他小型电子元件的精密蚀刻和灰化而设计的。701是一种先进的仪器,提供自动化、高通量、连续加载、可编程以及对蚀刻和灰化过程的精确控制。内置微处理器提供软件可编程逻辑、用户定义的轮廓温度范围和脉冲参数以及斜坡和停留时间。蚀刻器/灰烬可以配置2个加热站至6个温度范围和9个可编程配方，允许对每个蚀刻/灰烬工艺进行定制的剖析和微调。它配有两个石英钨卤素（QTH）灯加热元件和一个可测量温度方差为+/-0.5 °C的精确温度控制机构。TEGAL 701具有人体工程学设计，操作方便，采用7英寸彩色液晶触摸屏，带有直观、用户友好的GUI。用户还可以访问全面的数据记录和错误报告。此外,还可以通过RS-232端口远程配置所有进程参数和设置。蚀刻器/灰化器具有先进的安全系统,其特点是在过程失败时具有自动气体关闭系统和氧气传感器,在蚀刻/灰烬缺陷之前由于氧气含量低而发出警告。701还包括各种其他功能,如自动卸下蒙版、基板映射和备件选项卡。总之，TEGAL 701是一种可靠的蚀刻器和灰化器，为半导体和其他小型电子元件的高效蚀刻和灰化提供了一整套功能，为蚀刻性能设定了高标准。其人性化的GUI、精确的温度控制、自动化的气体关闭系统以及全面的安全功能，使其成为蚀刻和灰化精密、精密元件的绝佳选择。