二手 TEGAL 701 #293621577 待售

TEGAL 701是一种先进的自动蚀刻和灰化仪器，制造商用来经济高效地蚀刻和灰分基板。它由蚀刻/灰烬室、高频发电机、压力控制器和计算机控制的可编程系统组成。蚀刻/灰室容纳基板，并配有自动输送机。它有八个钥匙操作的自动门锁，并提供操作员保护。它还确保在蚀刻/灰烬操作过程中正确的大气和工艺参数。高频发电机允许蚀刻器/asher在DC或RF功率和过程下运行，能够根据精确的参数和适当的条件进行调整以达到最佳效果。701配备了可定制的电压切换功能，允许精确控制电流和电压输出压力控制器允许精确监测和控制压力，允许精确控制蚀刻/灰烬速率和处理时间，同时还有助于防止过度蚀刻和损坏基板。同时,计算机控制的可编程系统是一个用户友好的界面,用户可以快速轻松地选择所需的蚀刻/灰分参数,跟踪过程并报告结果。TEGAL 701通过其操作员可调节的数字触摸屏显示屏和速度控制,还能够对温度、压力和蚀刻/灰分循环进行精确调整。701 蚀刻器/asher也非常节能。它只使用少量的反应性气体和能量，使其成为处理各类基材的经济上有吸引力的加工解决方桉。它还配备了监护人安全监控系统，实时监控、记录和报警过程。TEGAL 701通过其高效、精确和可靠的在线蚀刻和灰化,提供了先进的自动蚀刻和灰化解决方桉,以满足各行业制造商的需求。