二手 TEGAL 701 #9000653 待售

TEGAL 701是一种用于高分辨率微电子的蚀刻器/asher。它是从半导体基板上去除不需要的材料的强大工具，经常被用来蚀刻细小的花纹，边缘细腻而精确。该设备利用高功率激光源产生聚焦光束，然后将其定向到基板上。这种光束用于将化合物沉积在基板上，然后将材料汽化，以产生小孔，或微蚀刻图样。701有一个光学台，设计用来容纳大型基板，长度可达1200毫米。它可以蚀刻到0.3 μ米的分辨率，允许精确控制蚀刻过程。这台机器是完全自动化的,它允许快速,高度可靠的蚀刻和灰化过程.它还具有一个温度控制的工艺室，有助于在整个循环中保持一个均匀的温度，从而确保蚀刻工艺的更好的可重复性。它还提供了一个自动对焦选项，可以快速、方便地扫描基板。该系统还设有一个电弧监控单元，用于测量蚀刻周期开始和结束时的跟踪电压弧。这样可以确保基材不会过度蚀刻,从而降低损坏的风险。机器还允许进行深入的过程后分析，为用户提供蚀刻过程的详细信息。该工具还包括TEGAL 701的内部软件，可用于监控和控制过程。这包括参数的自动调整，允许用户微调他们的蚀刻过程。此外,它还提供诊断功能,允许用户快速有效地识别和解决问题。701 蚀刻器/asher设计用于研发部门。它非常适合在各种行业（如电子、医疗和汽车制造）中按照严格的标准生产蚀刻特征。它具有高精度蚀刻功能和自动化过程控制,是创建复杂、高质量零件的宝贵工具。