二手 TEGAL 701 #9000660 待售

TEGAL 701是一种为硅和复合半导体晶片的精密处理而设计的蚀刻器/aser。它具有先进的蚀刻功能,适用于各种应用,从精确的表面结构到定制设备的处理和制造。701是完全自动化的,具有多种模式选择,允许用户根据设备的确切要求定制蚀刻。其内置的气体输送设备可以精确、精确地计量加工气体，从而获得最大的蚀刻精度。该机组的源功率为1600W和等离子体压力高达1.2 Pa （9 mTorr），处理气体包括氟气、氯气、氧气和硫化氢。系统装有一个手动调节的工件平台，允许用户移动和定位晶片，而不必从蚀刻机中取出。其简单的用户界面为温度敏感过程提供了简单的操作和精确的温度控制。这使得TEGAL 701成为可靠准确蚀刻的理想选择。除了蚀刻能力外，701还具有内置的自动压力控制单元，使得真空操作的准确性更高。一个自动化的晶圆处理机器允许方便精确晶圆和模具定位过程。蚀刻器还配备了先进的温度传感器，可在蚀刻过程中精确监控所有温度。该工具还设计用于低颗粒计数操作，确保清洁和无污染的环境。TEGAL 701的软件接口可以方便地设置和操作,并且可以轻松设置所有必要的蚀刻参数,包括功率、压力和流量。该装置还配备了一个真空量表，用于在蚀刻时监测真空水平。总体而言,701是一款功能强大且可靠的蚀刻器,专为在各种处理任务中精确使用而设计。凭借先进的蚀刻能力、简单的操作和内置的温度和压力监控，该资产非常适合任何需要对硅和复合半导体晶片进行精密蚀刻的情况。