二手 TEGAL 803 #201078 待售

TEGAL 803是一种高级蚀刻器/asher,专为各种专门的过程而设计。这个专门的蚀刻平台非常适合多种工艺，包括但不限于复杂结构的湿蚀刻、氧化物蚀刻、高长宽比光子和等离子体微结构以及干蚀刻。这种技术先进的设备可通过TEGAL Corporation获得,TEGAL Corporation是全球领先的定制蚀刻和asher系统供应商。803具有垂直腔室设计，可以加工直径达8英寸的基板。该系统配备独特的蚀刻向导II控制单元，对蚀刻和排放过程提供简单直观的控制。Etch Wizard II还允许用户与机器进行远程交互，使操作和维护变得更加容易和方便。TEGAL 803还提供了另外两个控制系统-触摸向导和数字蚀刻选择器（DES）。DES控制工具允许用户精确控制他们的蚀刻过程参数，如压力、时间和功率。803还提供了广泛的功能，旨在最大限度地提高蚀刻和排放过程。该资产能够根据所需的工艺参数支持冷热基板加工。此外，它还能够支持广泛的蚀刻气体和蚀刻化学方法，包括氧化物和金属材料的湿蚀刻配方。排放过程也是可调整的，允许用户定制其排放概况以优化其过程。TEGAL 803还拥有先进的安全功能。最值得注意的是，该模型配备了TEGAL屏蔽泄漏检测设备，其设计目的是快速准确地检测在蚀刻过程中可能构成危险的任何有害气体。此外，该系统还配备了各种惰性系统，旨在进一步防止任何潜在的气体泄漏。803是一个先进的蚀刻平台，能够快速准确地蚀刻各种复杂的结构。这个先进的蚀刻平台得到各种直观精确的控制系统的支持，以及增强的安全功能。TEGAL 803具有独特的设计、先进的功能和可靠的性能,是专业蚀刻工艺的理想选择。