二手 TEGAL 803 #9180201 待售

TEGAL 803是一款由TEGAL Devices, Inc.在80年代开发的蚀刻器和asher。它被设计用于集成电路的开发，包括生产各级金属和电介质生产，用于小型薄电子元件。803是一种高性能蚀刻器和粉碎机，用于形成薄膜金属和介电结构。它采用了最先进的组件，包括面板安装的数字显示屏和强大的蚀刻器和asher引擎。TEGAL 803具有多种功能,旨在使用户能够精确规划和执行流程。灰化率可控制在0.1瓦至5.0瓦之间,增量为0.01,等离子体蚀刻率可设置在0.3瓦至5.0瓦之间,增量为0.01。它还有一个先进的电源，可以支持一系列的等离子动力技术，包括脚趾压力、压力支持和气泡蚀刻。其用户友好的面板使集成电路设计者和工程师能够快速、轻松地输入和调整参数，如压力、功率和工艺序列。803配备了广泛的材料和组件，包括高精度差压控制子系统，允许用户控制过程轨迹的倾斜控制功能，以及专用的多气体供应和净化系统。该系统的控制器集成到面板中，可以对薄膜结构进行精确和可重复的蚀刻。TEGAL 803还采用了一种索引式多口袋线级沉积技术,提供强大的i线和DUV掩码成像功能。803设计得非常可靠和一致。其先进的ISO 9000认证自动排序和自动跟踪功能使用户能够快速开发具有精确均匀密度分布的薄膜结构。其坚固的金属沉积特性可达到小于2微米的厚度和窄至1微米的特征宽度。此外，其先进的ECR（电子回旋共振）处理对于复杂的蚀刻结构可以实现更快的蚀刻速率和更好的边缘收敛。简而言之，TEGAL 803是一款功能强大、可靠的蚀刻器和asher，旨在帮助集成电路工程师快速准确地开发薄膜金属和介电结构。它具有先进的数字显示和蚀刻/asher引擎，工艺参数的精确控制，以及材料和部件的可靠选择。803凭借其高性能功能和经ISO 9000认证的自动排序和自动跟踪,为用户提供了可靠的结果,有助于薄膜微量电子元件的开发。