二手 TEGAL 803 #9260044 待售

TEGAL 803蚀刻器是为大批量工业应用而设计的多工艺蚀刻设备。其高效率和低成本使其成为各种任务的有吸引力的选择。803是一种全自动单室工艺蚀刻器，真空室容量为8.4升，工作压力高达0.1tor。它配备了射频偏置电源以及用于不同蚀刻过程的微波电源。它还有两块石英蚀刻板，一个等离子体产生装置和一个电阻材料源。该系统还包括一个特殊用途的高精度电脑化模具连接单元，用于在将基板引入腔室之前将射频发生器和偏置电源精确固定在蚀刻板上。电脑化模具连接机便于精确和可重复的蚀刻工艺条件，并在放置在腔内的所有晶片上提供均匀性。TEGAL 803精确、可重复的工艺控制使得它非常适合生产高品质的小线图案基板。它可以蚀刻厚度达200 µm的基板，最小蚀刻间距为20 µm。腔室温度可设定为最高400 °C。该工具还配备了一个高速计算机化的单片装载机，能够将每分钟多达4个晶片装入资产。该模型的处理器还包含晶圆确认算法，以确保蚀刻过程的重复性最大化，以及一致的过程晶圆到晶圆。803的机载诊断套件通过监控设备状态和呈现警报管理功能,进一步提高了操作效率。通过读取系统参数、工艺条件等单位值，往往可以诊断出问题，引导用户采取纠正措施。此外，TEGAL 803包括一台有源预沉积机，设计用于制备晶圆表面，以最大限度地提高蚀刻均匀性和精度。其他功能包括自动清理工具,以优化资产性能和减少停机时间。803设计为在工业、小型或研究应用中提供可靠性和一致的高质量蚀刻。其先进的特点和高效的操作使其成为耐用和高性能蚀刻的理想选择。