二手 TEGAL 900ACS #293635732 待售

TEGAL 900ACS是一种用于基板加工的蚀刻器/灰化器,在各种半导体和非半导体材料中具有优异的蚀刻/灰分性能。此蚀刻器/asher利用TEGAL独特的RF/DC电源传输技术,实现高吞吐量和准确的过程结果。900ACS提供了几个选项,允许用户自定义其蚀刻/ashing过程并提高产量。蚀刻器/灰化器采用三个步骤：预清洁、蚀刻/灰分和后清洁。在预清洁步骤中，用户可以选择使用机械泵将腔室抽出，然后用清洁气体（通常是氮气等惰性气体）填充腔室，以帮助减少颗粒进入腔室。这个步骤可以选择包括其他清洁技术，如射频等离子体清洗。第二步是蚀刻/灰场景。用户可以使用RF或DC电源自定义过程,具体取决于所处理的材料。用户还可以调整功率水平、压力和气流,以实现所需的蚀刻/灰分深度。当蚀刻/灰分过程发生时，废气会从TEGAL 900ACS室排出，以防止晶圆受到污染。第三个也是最后一个步骤是后清洁过程。对于这一步骤，腔室要么机械抽出，要么充满清洁气体，以帮助减少颗粒进入腔室。然后通过湿洗或干洗除去剩余的蚀刻/灰分残留物。900ACS在多种材料中具有优异的蚀刻/灰分性能,非常适合广泛的应用。其先进的RF/DC电源输送技术和可定制的设置确保了准确和可重复的过程,并且其预清洁、蚀刻/灰烬和后清洁循环允许有效清除残留物。