二手 TEGAL 900e #293811528 待售

TEGAL 900 e是由TEGAL Corp.开发的一种蚀刻器（通常称为asher）。该设备设计用于各种半导体和电子材料的高通量、经济高效的蚀刻。该系统可提供高蚀刻速率、线隙宽度控制以及满足现代电路设计要求的表面光洁度。TEGAL 900 E是一个完全自动化的单元,可以处理蚀刻过程的各个方面。它包括实时温度、流量、压力和浓度控制系统，使机器能够高度准确、一致和高效。该工具采用基于等离子体的快速低压技术,可产生深度可达10,000 nm的蚀刻。该技术还消除了去除边缘珠的需要,并提供了卓越的蚀刻均匀性、线条边缘粗糙度和通道底部损坏控制。900e还具有多端口气体注入资产,利用独特的气体组合进一步增强蚀刻工艺。该模型允许用户选择蚀刻工艺的最佳气体类型，从而产生优越的蚀刻效果。该设备设计易于使用和维护。它具有直观的设计,简化了设置和过程控制,无需复杂的用户手册和过程。该系统还配备了高级诊断工具,可用于快速识别和纠正任何问题。最后，该单元还附带了一套软件，允许用户为各种蚀刻应用程序创建和修改工艺配方。总体而言,900 E是一种高级蚀刻器（或asher）,可为用户提供高效、准确且经济实惠的蚀刻解决方桉。它具有独特的先进技术组合,可提供卓越的蚀刻效果,同时相对易于使用和维护。