二手 TEGAL 900e #84748 待售

TEGAL 900e是由TEGAL Corporation设计的高精度、多合一蚀刻器和asher。它可以直接使用蚀刻和灰化工艺,非常适合工业使用。TEGAL 900 E是一个独立的真空系统,能够在高达500瓦的功率下进行蚀刻和灰化。其蚀刻盘可容纳直径可达400mm、厚度可达25mm的基板。通过完整的PID温度控制和计时器设置,可以通过液晶屏进行配置,从而实现精确的分析,从而精确控制蚀刻过程。提供了一个可选的寒板,以进一步改进温度控制。900e还提供6种标准蚀刻配方，按下按钮即可加载并执行。这些配方针对900 E流程进行了优化,确保设置准确且可重复。蚀刻盘还可配备线性运动级，用于加法控制或自动清洗或其他工艺。TEGAL 900e也用作asher。Asher托盘的最大直径容量为500 mm,带有可选的适配器和托盘,可增加容量。集成气体反呼气装置允许精确的气体交换控制，并对温度进行监测和控制，以确保排放的准确性。TEGAL 900 E是一款可靠、功能强大的蚀刻器和asher,可轻松满足任何应用程序的要求。凭借直观的控制和智能的特性,它是工业用途的绝佳选择。