二手 TEGAL 900e #9121969 待售
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TEGAL 900 e是一种创新的蚀刻器/asher设备,旨在实现各种材料的精确、精确蚀刻或粉刷。TEGAL 900 E采用先进的灵活技术,为从简单的单层到复杂的硬掩码和金属结构的应用提供了极致的准确性和灵活性。900e配备了创新的超等离子体发生器（UPG）,该发生器具有先进的射频光敏曝光源,在10-13.56MHz范围内提供高达22kW的高效功率,并与控制等离子体生成的控制电子设备相匹配。这允许传统蚀刻和灰化/沉积。该系统包括创新的自动化过程，如均匀性工程、基于算法的优化和故障检测技术，以确保最佳蚀刻和灰化结果。可以指定各种气体溷合物和压力水平，以适应不同的材料加工需求。900 E单元具有集成的加载/锁定机制,可快速方便地装卸零件。它还包括一个模块化的可配置快门机，带有独立的机械窗帘，在操作过程中可以用来将腔室与开放的大气层隔离。此快门工具可确保安全,并使资产完全自动化。该型号配有控制面板，包括7英寸显示屏，便于设备监控。此外,TEGAL 900 e还提供站点级控制器集成、对程序参数的外部访问以及实时数据记录功能。TEGAL 900 E是生产复杂设备结构的强大工具,可提供各种应用所需的准确性、可重复性和吞吐量。是生产半导体、医疗等行业优质零件的性价比解决方桉。
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