二手 TEGAL 901 / 903 #9285865 待售

TEGAL 901/903 Asher/Etcher是最强大、用途最广泛的蚀刻/蚀刻系统之一。它通过干蚀刻和湿蚀刻工艺提供超高吞吐量。该设备由于具有高功率的工艺室、高功率的射频发生器和机器人晶片处理系统，能够对3"和4"晶片进行高速蚀刻/灰化。该单元的加工室由不锈钢制成，带有耐热陶瓷衬里。腔室内部是由高功率射频发生器供电的蚀刻/灰化电极组件。这允许根据客户的特定应用程序定制蚀刻/灰化参数。气体进料机确保快速、高效地清除加工室内的气体副产物。晶圆处理工具能够以高达200 mm/秒的进给速率同时处理多达五个晶圆。它还允许在各种晶圆尺寸上提高均匀性,精度为0。²mm。机器人机制为晶圆处理资产提供了最低的总拥有成本,并为生产质量提供了最大的可用性。晶片放置在晶片支架上，该晶片支架从负载站气动移动到卸载站。可选择的蚀刻速率和高通量由可靠的两级耗电模型提供，该模型通过压力泵提供均匀的气体分配。单色等离子体发生器提供离子能量和温度的精确控制，这是蚀刻和灰化过程的重要参数。这样可以最大程度地控制蚀刻和灰化配置文件,从而提供最高吞吐量和最高质量的晶片。901/903 Asher/Etcher的设计考虑了安全性、维护和可靠性。它结合了一系列防火墙和火花抑制系统，以确保运行和维护过程中的安全。它还拥有高效的冷却设备以及完整的备件和部件列表,以保证长期的可靠性和性能。综上所述，TEGAL 901/903 Asher/Etcher是一种高效可靠的蚀刻/灰化系统，提供最大控制和超高产量。它是使用各种晶圆尺寸的理想选择，而且非常可靠和安全。