二手 TEGAL 901 #293594519 待售

TEGAL 901是一种蚀刻器或asher,是多层加工作业的理想工具。它是一种高端工具,使用户能够在各种基板中创建复杂的蚀刻和灰化层,并进行精确控制。对于微电子、半导体和其他精确控制至关重要的应用来说，这种蚀刻器/asher是一种理想的选择。901配备高分辨率光学观赏设备，可精确观赏图层。该系统包括一个可调焦点，可调曝光时间和可调停留时间的蚀刻和灰化过程。它还附带了广泛的可编程参数，为用户提供更精确的结果。该蚀刻器/asher设计用于真空室环境，并提供高速、精密的蚀刻和灰化工艺。TEGAL 901也非常适合反应性离子蚀刻和离子铣削工艺。它还与气体、蒸汽、等离子体和旋转射流等各种类型的蚀刻/灰分介质兼容。此蚀刻器/asher利用铝合金腔室实现无与伦比的性能。它提供了超光滑的光洁度，是阻燃和耐高温磨损。该单元配有自动化的负载锁单元，并配有加热/冷却机，以确保高精度的蚀刻和灰化。它还利用先进的离子源/等离子源技术来实现更好的灰化和蚀刻。901是最先进的蚀刻器/灰化器,是微电子制造、半导体制造等高精度蚀刻和灰化行业的理想选择。它是控制蚀刻和灰化过程同时保持最高精度的最强大和可靠的工具。