二手 TEGAL 901 #293624765 待售

TEGAL 901是一种有机蚀刻器/asher机器,专为需要对设备制造的有机层进行高精度蚀刻的应用而设计。该机既能蚀刻又能灰化，使用先进的计算机控制位置扫描系统。901利用蚀刻室和asher室两种腔室，各有多种功能和能力。蚀刻室是一个标准的蚀刻单元，采用最新的集成技术，设计以满足广泛的设备制造需求。它使用10到150V在几百到几千Torr的气体压力和0.1到4.0 SCCM的化学流速下运行。该腔室具有两个电极和一个直流或射频电源，用于均匀和一致的蚀刻。它还提供了工艺参数的实时显示，使用户能够准确监控蚀刻条件，从而获得最大的工艺保真度。第二个腔室，asher腔室，设计用于干蚀刻过程。它采用先进的F1- Chem™反应性离子蚀刻（RIE）气体化学系统，既能蚀刻又能灰化。其操作可调节，在不同的压力、温度和功率水平下运行，允许最大程度的工艺灵活性。该腔室具有一个大的F1-Scan处理单元,扫描区域在x轴和y轴上均可调节,以便灵活处理样品。它能够产生卓越的精确度和快速的样品处理时间。TEGAL 901是有机蚀刻和灰化应用的绝佳选择。它旨在提供优异的产量、降低的操作成本以及超高精度蚀刻能力。其强大的嵌入式软件提供高速控制和数据集成,非常适合设备制造。它为要求苛刻的蚀刻和灰化应用程序提供了一系列有用的功能和强大的性能。