二手 TEGAL 901 #293655088 待售
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TEGAL 901是一种高精度蚀刻/灰烬设备,设计用于在蚀刻/灰化表面（如MEMS制造中使用的表面）上产生所需的图样。该系统具有处理从晶片到基板或芯片级设备的大小不等的样品的能力。901采用热蚀刻技术和等离子体蚀刻技术相结合,按照严格的标准准确、干净地制作所需的图样。TEGAL 901具有两个阶段的过程,首先是蚀刻步骤,然后是ashing步骤。在蚀刻过程中，用加热气体蚀刻样品表面。热蚀刻过程由于气体分子的运动和化学反应而导致表面材料的精确去除。蚀刻步骤完成后，单位再使用等离子体灰烬完全去除样品上的任何残留物质。901利用高端控制面板调节监测温度、压力、气体流量等参数。它还具有编程特定蚀刻模式的功能。这允许用户在样本表面上精确复制图像或图样。这台机器是为一段时间后可重复和可靠的结果而设计的。为确保质量,制造商提供了各种故障保险箱,这些保险箱可在发生意外事件时关闭该工具。它还能够使用最新的软件修补程序进行更新,以获得最佳性能。最后,资产维护过去蚀刻事件的内部日志,以及可追踪性和文档的结果。总之，TEGAL 901 蚀刻/Ashe模型是在晶片和芯片级元件上产生精确模式的可靠而有力的工具。其复杂的控制、监控和编程功能可实现可重复的结果和可靠的性能。此外，设备先进的安全措施保证了蚀刻产品的质量。
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