二手 TEGAL 901 #293752942 待售

TEGAL 901是一款为高端半导体器件制造而设计的精确、高效、可靠的蚀刻器/asher。它拥有许多高级特性和功能,使其成为最强大的蚀刻器/分类器之一。适用于氧化物层蚀刻、光致抗蚀剂灰化、氧化物沉积等应用。901利用高精度的150 mm x 150 mm工艺面积获得最大产量,可选择的空间分辨率从3.5微米到10微米不等。它还提供了精确的温度控制系统，可以将工艺窗口从200 °C精细调整到950 °C。这样可确保在整个制造过程中保持最佳蚀刻或灰化条件。TEGAL 901还具有先进的自动化和控制功能,能够同时操作多达四个盒式装载机和多达十二个旋转盒式磁带。这允许同时处理多达十二个晶圆。此外,易于使用的用户界面为用户提供了对过程的完全控制。这包括能够准确监控和调整流程参数、设置报警和检测刀具性能漂移。901的效率也很高,能耗比标准工业系统低85%,每小时产生的晶圆也高50%。这有助于降低能源消耗和制造成本。此外，先进的环境缓解系统确保危险气体和微粒残留物保持在安全水平，确保安全和高效的作业。TEGAL 901是为高端半导体器件制造而设计的高效、功能强大、可靠的蚀刻器/asher。901具有先进的特点和功能,提供高性能和高精度的最佳产量.