二手 TEGAL 901 #9071953 待售

TEGAL 901是一种真空蒸发涂层/蚀刻器/asher。它是一种用于薄膜蒸发涂层的自动、高温、高精度仪器。由TEGAL Corporation制造，901利用其专利来源技术进行广域均匀涂层。它具有单一的来源来满足所有沉积需要，允许沉积各种材料，包括金属、绝缘体和薄膜。TEGAL 901是薄膜生产的最新工具，提供高精度、高均匀性的优点。其独特设计的腔室设有旋转平台，允许薄膜在大面积上均匀均匀沉积。这种自主装置可用于存放具有广泛应用的高性能薄膜。该仪器由先进的部件和模块组成，如真空室、不锈钢熔炉和具有导热表面的主体。其他组件包括自动控制系统、沉积监测器和精确的真空计。901还具有超轻、占地面积较小的特点,可与其他实验室设备一起定位,并可进行一人异地操作。TEGAL 901配备了强大的Vacuum N2扩散泵，提供高达10-6 Torr的低背景压力。先进的集成过程控制系统可确保一致和准确的过程性能。这个精确的系统包括机械臂、扳机和监视点，以及先进的可视化工具。另外，内置沉积控制程序是为薄膜沉积而预先配置的，如：铝、钛、硅等材料类型。901采用集成设计,可实现多种基板的精确可靠涂层。其薄膜沉积能力具有高度的均匀性和可重复性，非常适合精密制造或研究目的。TEGAL 901提供了多种沉积速度,以确保足够的处理时间,而其用户友好、直观的软件允许轻松设置参数,例如；温度、循环时间和真空水平。此外,其符合人体工程学设计的功能可以安全、高效地处理和操作。总而言之，901是一种高效、易用且配置性强的蒸发涂料，提供出色、均匀的薄膜沉积效果。TEGAL 901具有广泛的沉积材料、集成的过程控制和人体工程学设计,满足了可靠和成功的薄膜生产或研究项目的所有要求。