二手 TEGAL 901 #9113439 待售

TEGAL 901是由TEGAL Corporation开发的一款紧凑、高性能的蚀刻/asher设备。此asher/etcher用于实现高均匀性基板的高分辨率阵列。901提供精确的蚀刻和灰化过程,需要非常准确、可重复的结果。它使用了广泛的蚀刻和灰化化学方法，以确保在蚀刻和灰化过程中的均匀性。它利用专有的过程控制算法进行精确的过程控制。该系统使用专有的高温倦怠算法来实现统一的倦怠，从而消除不需要的侧壁污染。TEGAL 901还具有高分辨率的光学图样绘制功能,以确保蚀刻和灰化过程尽可能高的精度和准确性。901配备了先进的控制面板，使整个蚀刻和ashing过程用户友好高效。它使用触摸屏界面在过程中控制、监视和配置设备参数。此面板增强了可见性,使整个过程更易于监视和控制。此外,asher/etcher还包括一些内置的安全和监控功能,可确保过程的可靠性和高质量的结果。TEGAL 901专为高性能、低成本的操作而设计。它具有较高的吞吐量和最小的维护能力,确保最大的资源利用率。机器产生高质量，可重复，脆，均匀的模式，具有卓越的晶圆产率。此外，它还提供各种晶圆构型和基材材料兼容性，包括铝、多晶硅、掺杂硅、二氧化硅、氧化铝、砷化​​氙和SiGe材料。901具有高温操作,允许高速蚀刻和灰化以及提高产量。它还结合了一个先进的倦怠算法，以消除冷却阶段的需要，使蚀刻器/asher更节能。TEGAL 901除了高效运行外，设计小巧健壮，支持多种安全特性，非常适合工业应用。