二手 TEGAL 901 #9226736 待售

TEGAL 901是一款高级蚀刻器/asher,具有完全可定制的平台,可实现精确的材料处理。901能够以市场上最热的温度和最高的长期沉积速率进行操作,因此能够对多种材料的单层和多层组件进行有效的保护和机械隔离。这种最先进的蚀刻器/asher采用最新技术,包括数码相机系统和安全的离线控制面板。它还包括一系列工艺优化选项，允许精细的蚀刻和灰化品种精确控制时间、温度、压力和氧气水平。TEGAL 901利用一种特殊的无氢氯化物气体进行蚀刻和压力控制装置，在灰化过程中将氧气水平保持在所需的范围内。901还有一个独立的室内加热系统，允许在不同温度下自动处理物料堆栈，不需要额外的外套加热高度。此外,该单元具有独特的温度稳定系统,因此,尽管材料温度变化很大,但温度仍保持稳定,从而能够更有效地进行蚀刻,防止过程中的变化。除上述之外，TEGAL 901在冲击和存储过程中还具有控制冲击波的能力。此外,它还包含480 nm激光束,用于定制蚀刻和灰化操作,以满足任何材料和工艺要求。此外，该装置还配备了先进的双氧化物离子植入技术，用于金属、电介质和其他材料的高精度沉积。总而言之,901是一款功能强大且用途广泛的蚀刻器/石膏,可提供市场上最高的长期沉积速率和最先进、最准确的材料加工功能。它是满足各种蚀刻和灰化需求的理想工具,能够适应几乎任何工艺和材料规范。