二手 TEGAL 901 #9226737 待售

TEGAL 901是一种高度先进的半导体蚀刻设备，其设计目的是提供可靠的高精度结果和优越的质量。901用于集成电路的生产,非常适合先进的研究实验室以及半导体和IC制造过程。TEGAL 901是一个单系统蚀刻单元，能够进行广泛的蚀刻任务，包括金属蚀刻、深蚀刻、MEMS蚀刻等等。它具有先进的控制系统和先进的晶圆处理技术，可以优化工艺，并在不牺牲质量的情况下提供完美的效果。901具有200毫米垂直蚀刻室和6向镜。这种设计允许在整个晶片上进行统一的蚀刻过程，而6向镜则允许更精确的蚀刻。此外,TEGAL 901还具有多目标功能,旨在最大程度地提高蚀刻效率和吞吐量。901还具有高级晶圆处理功能。它为200毫米晶圆提供全自动加载、卸载、传输和拒绝管理。这样可以确保一致和高精度的结果,而不会出现延迟。其先进的晶片处理机还包括一个多位置真空臂，用于精确的自动晶片装卸。TEGAL 901专为复杂的IC制造而设计,其复杂的软件和硬件提供了先进的晶圆处理选项。它的软件工具具有多任务编程和监控功能,使用户能够轻松编程和监控其流程以获得准确的结果。其高级软件还包括针对复杂流程的自动配方选择，允许用户从一系列配方中进行选择，减少手动操作的需求。901是确保可靠准确结果的卓越蚀刻资产，是IC制造和先进研发的理想选择。其先进的设计和功能使用户能够获得最高精度的蚀刻结果并最大限度地提高吞吐量。