二手 TEGAL 901 #9250120 待售

TEGAL 901是在半导体生产中主要用于工艺控制和晶圆制造的一种先进的蚀刻器/asher。利用高精度电子束系统将材料光化学沉积到基板表面。基板一般是半导体晶圆，但也可以是玻璃或聚合物基板。901提供准确、可重复的过程控制，实时监控基板水平。用户可以自定义流程设置以满足特定要求。蚀刻/询问过程是一种蚀刻过程，利用电子束引起改变底物表面的化学反应。电子束然后充当设计的"掩蔽"剂，使蚀刻过程在确定的设计上准确进行。TEGAL 901的电子束可以微调至基材和工艺设置，以提供精确的工艺控制。此外,此蚀刻器/asher还具有均匀性控制功能,可计算功率、位置和光束长度。这样可以确保蚀刻过程以一致的速率和特定的基板水平进行。901还具有多种其他高级功能,例如高级温度控制和热变化分析。此功能有助于保护表面免受热损坏,并确保整个基板的温度均匀。TEGAL 901还设计用于提高蚀刻工艺的速度和精度。它使用强大的电动机，速度高达25 m/s。与手动方法相比，这种速度最小化了沉积时间，并最大限度地提高了精度和可重复性。总体而言，901是一种坚固可靠的蚀刻器/asher，专为半导体生产过程控制和晶圆制造而设计。它具有高级功能,可提高蚀刻过程的速度和准确性,并提供增强的过程控制。此蚀刻器/asher设计用于减少均匀性误差和减少热变化。TEGAL 901是一种适用于各种流程的通用解决方桉。