二手 TEGAL 901 #9250123 待售

TEGAL 901是一种蚀刻器/asher，设计用于半导体制造工艺。它能够提供高达550°C的温度，以便蚀刻或粉刷材料。此外,901还有一个集成的温度控制器,可调节室温和最高温度550 °C之间的温度。这确保了均匀的温度分布，并防止任何不适当的加热基板。TEGAL 901具有多项高级功能,旨在优化蚀刻/灰化性能。其中包括RFF（射频场）轰炸，这有助于确保整个样本的均匀性。此外,901还具有真空功能,可提高处理速度,提高精度和控制水平。TEGAL 901采用湿法和干法蚀刻技术，采用氢氟酸和缓冲氧化物蚀刻溶液。这种组合可以实现多层次的蚀刻，更高层次的蚀刻精度。此外，901采用干式蚀刻工艺，采用三氟化氯等蚀刻气体，最大限度地减少表面损坏，提高蚀刻效率。TEGAL 901具有多种安全功能,旨在保护操作员免受伤害。这些特性包括一个封闭的处理室，该室配有传感器，如果检测到不安全的压力、温度或气体浓度，传感器就会激活。此外,901配备了温度和压力截止系统,以便在检测到不安全情况时自动关闭处理。总之，TEGAL 901是一种高质量的蚀刻器/asher，专门设计用于半导体制造过程。其先进的特性，如RFF轰击和干蚀刻技术，提供优化的性能，而其安全特性保护操作员免受伤害。901是一种可靠高效的蚀刻材料工具，效果精确可控。