二手 TEGAL 901 #9292154 待售

TEGAL 901是一种蚀刻/asher设备，设计用于从多种不同的材料生产高质量、高分辨率的物理结构。901利用先进的基于等离子体的蚀刻技术，能够以最短的时间和工作时间提供近乎完美的结果，并具有卓越的精度和可重复性。TEGAL 901采用闭环气体控制系统，以确保利用氧气、氙气和其他气体的适当比例，创造出最佳的蚀刻和灰分速率。这种气体使用量受到密切监测，并自动调整，以确保整个工作期间过程的参数保持不变。这样可以加快蚀刻和灰烬时间,而不会牺牲结果的质量。901还有一个子像素掩码生成单元,它允许在材料上蚀刻精确、复杂的图桉。此功能可用于为存储芯片、传感器和微电子等设备创建详细的电气布局。TEGAL 901还具有激光制导无掩模蚀刻（LGM-E）功能,可在不带掩模的情况下精确调整蚀刻过程。这在密集和复杂的微电子产品的生产等应用中尤其有用。901还配备了Mass Finish Machine （MFS）选项，使其能够在蚀刻后处理额外的材料，如接线、添加剂、电镀、接触结构等。这使TEGAL 901的应用进一步多样化，因为它现在可以用于制造各种物理电子产品。总而言之，901是一台功能强大、精密的机器，拥有一系列强大的功能，适合各种用途。它在蚀刻和加工方面的能力使其成为众多应用程序的理想解决方桉。