二手 TEGAL 901 #9408120 待售

TEGAL 901是一种自动化晶片生产设备，利用先进的蚀刻技术，以精确的方式生产定制的晶片。该系统能够在多种材料上进行高分辨率、高精度晶圆的生产，包括硅、砷化氙和类似金刚石的材料。蚀刻工艺旨在减少热损伤，保持加工材料的质量。该装置采用了可变蚀刻时间和先进的弹性匹配蚀刻配方来实现卓越的工艺控制，从而实现了卓越的生产吞吐量和产量。901配备了一个集成的气体柜子，用于分配蚀刻过程所需的酸性蒸气。这台机器能够进行各种湿蚀刻和干蚀刻。湿蚀刻包括选择性蚀刻、热磷光蚀刻、湿爆破。这些过程提供了良好的过程控制、均匀性和更高的产量。TEGAL 901上的干蚀刻旨在降低蚀刻过程中的污染风险。该工具采用ICP-RIE（感应耦合等离子体反应性离子蚀刻）工艺，该工艺在较高的温度下运行，以促进均匀性，并在蚀刻表面形成更好的轮廓。该资产还提供了独特的MEMS蚀刻工艺,该工艺针对Micro Electrical Mechanical Systems产品进行了优化。901专门设计用于提供一种蚀刻模型,该模型能够以低于竞争对手的成本生产更高产量的产品。设备严密的工艺控制、均匀性和精确度为各种产品类型提供了更好的生产质量和产量。集成气柜允许更快、更高效的蚀刻工艺，其先进的弹性匹配蚀刻配方提供优越的工艺控制和产量。