二手 TEGAL 901ACS #293651580 待售

TEGAL 901ACS是由半导体加工设备的领导者TEGAL Corporation设计制造的蚀刻器/灰烬。901ACS专为高性能等离子体蚀刻和清洁应用而设计。它具有同类产品中最高的吞吐量之一,允许用户在保持卓越精度的同时实现更快的处理时间。它的双腔室设计允许用户在同一腔室实现蚀刻和清洁过程。TEGAL 901ACS配备了前置气柜和简化的气体输送设备，通过提供标准化气体和简化维护来降低成本。其精密光学和自动化控制系统有助于确保可重复、可靠的工艺结果。此外，一个大视口提供了一个通畅的查室视图，用于过程控制，易于维护，并查看整个过程。901ACS的高功率射频发生器能够产生400瓦、13.56 Mhz的等离子体源。该单元还具有广泛的工艺配方,可提供更多的灵活性。此外，TEGAL 901ACS还采用了先进的离子源设计，有助于在蚀刻或清洁性能方面提供最佳的均匀性。901ACS的设计考虑到了安全性和可靠性。它具有多种有助于保护人员、设备和环境的安全功能。其中包括专用的冷却器和水过滤装置、红外安全传感器以及故障安全关机。综上所述,TEGAL 901ACS结合了强大的性能、最先进的技术和先进的安全功能,为用户提供可靠的蚀刻和清洁体验。对于需要在最短时间内取得优异工艺效果的用户来说，这是一个绝佳的选择。凭借其高吞吐量、精密光学和先进的控制工具,901ACS能够提供半导体工程师和技术人员都在寻找的结果。