二手 TEGAL 901ACS #9395520 待售

TEGAL 901ACS蚀刻/灰分是一种先进的蚀刻设备,功能卓越。它具有降低污染风险的自我控制功能,以及允许更大吞吐量和成本节约的单片批处理过程。该系统有机电设计，提供精确一致的操作，并有一个过程控制器，具有用户友好的界面，可以方便地访问单元设置和参数。901ACS蚀刻器标配两种工艺气体：SF6和氯气。氯气用于蚀刻硅片，SF6气体用于去除蚀刻过程中产生的表面污染物。此外,该机器还可以处理从100 mm到300 mm的各种晶圆尺寸。自动检测晶圆大小,并相应调整工艺参数。TEGAL 901ACS有一个可容纳多达12个晶圆的大腔室，可以同时处理。该工具还具有自动冷却功能，确保腔室环境保持在安全温度。这也有助于保持工艺参数的一致性。901ACS利用双频交流电源进行精确的过程控制,从而实现结果的可重复性。此外，该资产还具有过电压、过流保护和地面探测等多种安全特性。该型号还具有模块化设计，便于升级和扩展设备的能力。TEGAL 901 ACS蚀刻器/分类器具有各种为满足许多应用程序的要求而量身定制的工艺选项。其坚固的设计使其适合大批量生产,而且易于使用,使其成为小批量实验室的理想选择。它的准确性和灵活性使得它成为需要精确蚀刻参数的应用的完美解决方桉。