二手 TEGAL 901B #9262409 待售

TEGAL 901B 蚀刻器/asher是一种高性能、重型设备,旨在为各种大容量应用提供卓越的处理效果。它配备了先进的特点，提供卓越的性能和卓越的效果，蚀刻和灰化高密度，大体积的基板。901B的厚7英寸（18厘米）石英合金腔室和双10英寸（25厘米）合金表面蚀刻器具有先进的加工能力,可处理高达7 x 8.5英寸（18 x 22厘米）的大表面积。它还包括一个高分辨率的滤镜加光学设计，给用户更高的分辨率高达1微米（0.001毫米）。TEGAL 901B坚固的设计提供高达38 fpm （67.3 cm/s）的高速，并确保它成为以着名蚀刻膜技术处理大型基板的理想系统。它还具有板载分布式计算技术（DCT）,有助于最大限度地提高蚀刻速度和效率,以及晶片到模具或机箱-过滤器的兼容性。901B凭借先进的电子回旋共振（ECR）气体等离子体技术，取得了优异的蚀刻和灰化效果。它能够利用反应性气体和非反应性气体模式进行蚀刻和灰化。而且，由于其精密的ICR（离子回旋共振）选项，它也可以用于退火和溅射蚀刻。TEGAL 901B包括一系列用户友好的功能,例如直观的用户界面、多级访问控制以及远程控制中心（RCC）服务器集成选项,以确保性能、质量和安全性一致。它还配备了与IBM兼容的PC控制单元和EDX（电子色散X射线）视觉计量机，以确保蚀刻和灰化结果的准确性和精确度。总体而言，901B是一种可靠且用途广泛的蚀刻器/asher工具，可提供大型基板的卓越蚀刻、灰化和退火效果。其先进的功能，加上灵活性和直观的用户界面，使其成为大批量生产应用以及研发过程的理想资产。