二手 TEGAL 901e /903e TTW, #12388 待售

TEGAL 901e/903e薄膜晶片（TFW） 蚀刻器/asher是一种高性能系统,专为高级工艺控制和优越的晶片吞吐量而设计。它具有高速和平稳管理的生产吞吐量,确保了关键挑战结构的完美无瑕的过程。这种用途广泛的蚀刻器/asher包含了广泛的过程变量，如蚀刻前体、气体和压力监测器，用于高度灵活、可靠和可重现的钻机。TEGAL 901e/903e的SF 1000微加工技术是以精确的适应性来支持制造的进步。自动双级蚀刻器的设计能够快速有效地提供卓越的蚀刻精度、均匀性和整体产量。这种可重复的精密边缘保持了近乎完美的掩蔽，减少了对基板的伤害。集成的侧壁分析功能使直观和定制的过程控制能够实现所需的蚀刻特性和结果。TEGAL 901e/903e提供易于使用的推出功能。直观的用户界面允许使用可编程的流程配方和步骤简化启动和关闭。为确保质量恒定,过程跟踪功能提供了准确、方便的分步跟踪功能。实时数据分析使操作员能够根据晶圆特性和响应来调整参数。为便于灵活性和多功能性，901e/903 e与一系列TEGAL工艺前体和与THP兼容的气体兼容，包括氯气、三氟化氮和富氧空气。TF 1440晶圆处理程序提供先进的机器人晶圆操作能力，符合TEGAL工艺防腐剂（后缀"T"）。TEGAL 901e/903e TFW 蚀刻器/asher是半导体行业大批量生产的理想选择，提供可靠、精确的接触孔、扇出和金属沉积的表面清洗和蚀刻。此蚀刻器/asher具有提供卓越的吞吐量和不妥协的产品质量的潜力。