二手 TEGAL 903 & 903E Series #425 待售

TEGAL 903&903E系列是一种蚀刻器/灰化器,是一种先进的工具,可用于广泛的应用,特别是用于MEMS和半导体相关器件制造。它采用创新的加热气流设备，对目标材料进行蚀刻和灰化，提供高蚀刻速率，提高设备吞吐量，减少蚀刻循环时间。903&903E系列有一个大而宽的腔室，具有300 mm x 400 mm x 40 mm的大蚀刻面积。它具有低维护的石英管、光滑的陶瓷壁和带有变频控制器的高精度驱动系统来控制蚀刻速率。该机组有许多先进的工艺控制，包括压力、温度、气流、保护性气体型、腔室排气速度、参数选择和载荷/卸载。总体而言,TEGAL 903&903E系列提供卓越的蚀刻性能以及许多高级工艺控制,以实现传统金属和新材料的高精度蚀刻和灰化。该机是为可靠性、低维护和经济运行而设计的.903&903E系列具有较大的工艺窗口、快速的蚀刻速率和改进的设备吞吐量。它还旨在减少颗粒污染，并在较短的循环时间内实现卓越的吞吐量。该系列可以进行激光活化蚀刻、离子蚀刻、反应性离子蚀刻、等离子体蚀刻以及介电、电镜、光学材料的RIE。这使得它适合多种工业和商业应用，包括电光、光子学、半导体器件制造和MEMS。总体而言,TEGAL 903&903E系列是一款高性能蚀刻器/asher,可提供卓越的蚀刻性能、高蚀刻速率、卓越的设备吞吐量和更好的周期。该工具有许多先进的工艺控制，能够对传统金属以及各种工业应用的新材料进行精确的蚀刻和粉刷。