二手 TEGAL 903 #173938 待售

TEGAL 903是用于制造半导体晶圆等高科技产品的手动、静电、等离子体蚀刻/灰烬。它是用于先进研发和原型实验室的最通用、功能最强大的干蚀刻设备之一。机器可以蚀刻/灰分各种各样的材料，如硅，金属，电介质，钝化和许多其他基板。蚀刻工艺精密，具有高选择性的微观特征蚀刻能力。该机采用等离子体动力静电场发生器的先进新技术，将金属离子和其他反应性材料驱动到晶圆表面。903具有双隔离静电室,允许多掩模蚀刻和可变温度范围的操作。两个腔室都可以在不同的温度下操作，允许使用者在控制埋葬深度的同时产生复杂的图样蚀刻。TEGAL 903以其可调的压力和温度设置，可以实现广泛的沉积厚度。这样可以选择最佳蚀刻速度和输出质量。903能够产生极高的蚀刻速率，尤其是在使用硅、​​的材料时。该机采用先进的真空系统，保持稳定的蚀刻环境，具有较高的吞吐量和可重复性。自动电平控制功能允许从晶圆到晶圆的重复蚀刻配置文件。TEGAL 903提供卓越的准确性和可重复性。其多才多艺的设计可以方便地访问所有蚀刻程序，包括掩蔽、沉积、蚀刻和清洁。其用户友好的界面、直观的菜单结构和先进的技术使其成为半导体器件制造专业人士的绝佳选择。这台机器价格合理,以经济高效的方式提供可靠的操作.