二手 TEGAL 903 #293594520 待售

TEGAL 903是一种现代化的直写光刻设备，专为制造精密高效的纳米结构而设计。该系统使用先进的光学、定位系统和专门的软件，将光抗蚀剂精确地暴露在光源下。高分辨率透镜和反射镜用于将光能聚焦到基板上，从而实现受控光刻。这一单元能够将纳米结构设计成几十纳米。903是一种行业标准的设备，可以搭配多种基材和抗蚀剂，以高精度打造纳米结构。这台机器包含了几个组件，每个组件在光刻过程中起着至关重要的作用。光源模块是工具的关键组件，使用的光源类型将取决于需要写入的模式。根据工作的不同，光源可以是激光、i线或ArF准分子激光器。除了标准的光学元件外，TEGAL 903还结合了三轴电动和手动控制的舞台定位资产，以确保精确的基板定位。为了确保一个精确的模式，模型有精密的对齐和计量工具，以确保暴露模式的完美。此外,903还提供了多种过程控制参数,包括剂量和焦点控制、施加的电压和薄膜定位,以便为各种应用提供精确的过程控制。该设备还包括一个辅助光源，用于耐热烘烤，加热温度可达200 °C。为TEGAL 903供电的软件旨在提供一个直观的用户界面，允许快速创建样本和快速原型。903是专为纳米材料量身定制的范围最广的蚀刻和asher系统，提供了适应各种客户独特生产需求的灵活性。TEGAL 903凭借其先进的光学、智能软件和精密的机动控制，使用户能够以极高的精度和可重复性对纳米结构进行蚀刻和粉刷。