二手 TEGAL 903 #293655091 待售

TEGAL 903是专门为生产广泛的高精度器件而设计的高性能等离子体蚀刻器/asher，特别是那些用于电子、电信和半导体行业的器件。它是一种可靠、强大的设备，能够在塑料、陶瓷、玻璃等多种基板上进行高精度、高通量的蚀刻和灰化工艺。903是一个完全独立的等离子体处理系统，为等离子体蚀刻和灰化操作提供了一个独立的解决方桉。它针对成本效益进行了优化,为用户提供了一个可靠、可靠的精密流程平台,同时易于安装和操作。该系统包括几个先进的功能,例如大的表面板,允许更大的基板覆盖面,高真空侧的真空额定值,可确保更高的气体夹带能力和过程中的出色冷却,以及可调的温度范围,从120°C到400°C。TEGAL 903允许自动或手动控制工艺参数,例如蚀刻时间、蚀刻速率、占空比和基板活化剖面。此外,它还具有多语言触摸屏界面,可轻松控制蚀刻过程和作业数据输入。为监测这一过程，903配备了先进的光学监测系统，使用户能够精确和远程监测蚀刻轮廓。TEGAL 903等离子体蚀刻器/asher具有先进的高通量功能设计,能够保持蚀刻率和最高质量的asher速率。它坚固的设计使它能够处理等离子体激活和蚀刻时间比竞争对手长得多。此外，它对基板具有极好的耐磨性和耐腐蚀性，从而确保其耐久性和今后的一致蚀刻和灰度性能。总体而言,903是生产高精度设备的宝贵设备。其优越的性能、可靠的操作和成本效益使其成为那些希望在生产最优质基材的同时最大限度地提高生产效率和降低成本的人的理想选择。