二手 TEGAL 903 #9007913 待售

TEGAL 903是为生产小型随机逻辑和内存芯片而设计的蚀刻器/asher。它配备了电子束源和光束偏转设备，使其能够实现高通量和一致的蚀刻质量。903已被证明能够可靠地生产特征尺寸在1微米以下的晶片。该系统采用先进的射孔溅射枪和可独立调节的网格电子束发射器，能够以非常高精度的方式电离和沉积材料。这种先进的电子束光源与创新的光束偏转单元的集成允许在1微米以下的分辨率下进行高通量蚀刻，这对于像超细线宽和接触孔这样的特征很有用。该机具有多项创新功能,可确保过程可重复性和过程控制。闭环反馈工具使用电荷耦合器件摄像头监控蚀刻进度，并进行中蚀刻校正，以保持像均匀性、接触孔精度、宽度、深度等关键工艺参数。该资产还配备了可调气体阀，允许用户精确控制像侧壁角、沉积速率、特征尺寸、蚀刻速率等蚀刻参数。蚀刻速率监视器还有助于提供反馈以保持整个晶片的均匀性。为确保工艺精度,TEGAL 903使用精密洗涤器和三维wi-fend功能,以确保图样以高精度从掩模传输到晶圆。模型的可编程性还允许使用高度可定制的配方,以便用户根据自己的特定需求定制其流程。903最显着的特点之一就是它的多工具性质。它可以用于蚀刻、电镀和其他类型的工艺，以满足各种生产需要。TEGAL 903具有高通量能力和精密的控制算法，非常适合随机逻辑和内存芯片的批量生产。