二手 TEGAL 903 #9071954 待售

TEGAL 903是一个高性能的蚀刻/ascher系统，设计用于处理各种各样的基板。其最大蚀刻速率为400 nm/min，最大沉积速率为500 nm/min，是加工较大基材的理想之选。它具有先进的双通工艺，允许在整个基板上均匀，因此非常适合精确的蚀刻和沉积工艺。903具有一系列可调节的参数,这意味着用户可以根据自己的特定需求调整流程。这些包括各种工艺变量，如工艺压力、腔室温度、工艺持续时间和气体成分，以及工艺特定参数，如端点检测和用于蚀刻和沉积的反应性气体溷合。TEGAL 903具有全方位的安全系统,如二氧化碳和氮气自动清除、压力监测、过压保护和接地故障中断器。所有这些安全系统确保设备能够安全操作。903还具有较高的自动化和控制水平,可以精确控制蚀刻和沉积过程。它还具有用户友好的图形用户界面（GUI）,旨在使TEGAL 903的操作更加轻松高效。903适用于半导体制造、电光、微波和MEMS设备。它也非常适合许多其他应用，例如数据存储设备、材料表征、光子设备制造和生物医疗设备。总之，TEGAL 903是一种先进的多功能蚀刻/asher系统，专为广泛的应用而设计。它具有用于均匀基板处理的双通过程、可调参数控制以根据个人用户需求定制过程、确保安全操作的一系列安全系统以及用户友好的GUI以实现高效操作。它非常适合许多不同的应用，其广泛的用户证明了这一点。