二手 TEGAL 903 #9076197 待售

TEGAL 903是一种以等离子体为基础的高端蚀刻器/asher装置，用于各种材料的精确可靠的蚀刻/灰化，如硅、砷化​​、磷化铵和绝缘子上硅（SOI）底物。这款先进的设备采用了创新设计，结合了可靠、高分辨率的电光扫描仪和光学控制的计算机控制蚀刻室。903是一个多合一的系统，可以同时蚀刻和粉刷基板，使得它非常适合许多不同的应用。TEGAL 903精度高、效率高，分辨率为1微米，精度为0.5微米，厚材料蚀刻速度为5毫秒/微米，薄材料蚀刻速度为0.3毫秒/微米。这样可以确保所有蚀刻/灰化过程保持尽可能准确和一致。该单元还可以设置为使用四种不同的蚀刻气体处理多达四种不同的模式。这使用户能够准确、快速地创建复杂的3维结构。903配备了独特的等离子体发电机，由低压源供电。这种发电机旨在为所有过程产生稳定的等离子体射流，无论底物类型如何，都能产生一致的结果。该机还由一个高度精确的计算机界面组成，允许精确的参数设置被快速而轻松地表征和细化。TEGAL 903相对容易使用，因为所有操作都可以通过用户友好的控制面板实现自动化。该工具具有内置的安全特性，蚀刻室附着在模块化框架上。此框架可减少操作过程中的振动和移动,从而实现一致的准确过程。此外，903还配有多种可选真空泵送系统，可用于减少总蚀刻时间。总体而言,TEGAL 903是一种先进的蚀刻/灰化资产,以合理的价格提供精确度和精确度。它可以处理多种不同的工艺和基材类型，其直观的设计使得即使是复杂的蚀刻工艺也能快速无误地完成。903是寻求可靠、高效、经济高效的蚀刻和灰化解决方桉的用户的理想选择。